กลับไปที่รายละเอียดบทความ ผลของอัตราส่วนกระแสสปัตเตอร์ต่อฟิล์มไทเทเนียมอลูมิเนียมไนไตรด์ภายใต้การเคลือบโดยเทคนิคดีซีรีแอคทีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง ดาวน์โหลด ดาวน์โหลด PDF