ผลของกำลังไฟฟ้าต่อโครงสร้างของฟิล์มบางเซอร์โคเนียม ไททาเนต ที่เคลือบด้วยวิธีดีซี แมกนีตรอน โคสปัตเตอริง
Article Sidebar
Main Article Content
บทคัดย่อ
บทคัดย่อ
งานวิจัยนี้เคลือบฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไททาเนต (ZrTiO4) บนกระจกสไลด์ แผ่นสแตนเลส และแผ่นซิลิกอน ด้วยวิธี ดีซี แมกนีตรอน โคสปัตเตอริง เพื่อศึกษาผลของกำลังไฟฟ้าต่อโครงสร้างของฟิล์ม แล้วนำฟิล์มที่เคลือบได้วิเคราะห์โครงสร้างผลึกด้วยเทคนิค XRD ศึกษาลักษณะพื้นผิวและความหนาด้วยเทคนิค AFM และ FE-SEM ตามลำดับ ผลการศึกษาพบว่าฟิล์มที่เคลือบได้มีความเป็นผลึกเพิ่มขึ้นตามค่ากำลังไฟฟ้า (Zr : Ti) เมื่อฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไททาเนตเคลือบที่กำลังไฟฟ้าต่ำ (Zr : Ti) ฟิล์มมีโครงสร้างแบบอสัณฐาน แต่เมื่อเพิ่มกำลังไฟฟ้า (Zr : Ti) สูงถึง 900 : 1200 โดยไม่ต้องให้ความร้อนกับวัสดุรองรับ ฟิล์มมีโครงสร้างผลึกแบบออร์โธรอมบิก ระนาบ (111) สอดคล้องกับความหนาและความหยาบผิวของฟิล์ม เมื่อกำลังไฟฟ้าเพิ่มขึ้น (Zr : Ti) ฟิล์มที่เคลือบได้มีความหนาเพิ่มขึ้นและพื้นผิวของฟิล์มเรียบขึ้น เนื่องจากในกระบวนการเคลือบมีพลังงานสูงมาก
คำสำคัญ : ฟิล์มบาง; เซอร์โคเนียมไททาเนต; กำลังไฟฟ้า; สปัตเตอริง
Article Details
เอกสารอ้างอิง
[2] Bokhimi X, Morales A, Novaro O, Portillab, M., Lópezc, T., Tzompantzic, F., Gómezc, R., 1998, Tetragonal nanophase stabili-zation in nondoped sol-gel zirconia prepared with different hydrolysis catalysts, J. Solid State Chem. 135: 28-35.
[3] Carp, O., Huisman, C.L. and Reller, A., 2004, Photoinduced reactivity of titanium dioxide, Prog. Solid State Chem. 32: 33-177.
[4] Reddy, B.M. and Khan, A., 2005, Recent advances on TiO2-ZrO2 mixed oxides as catalysts and catalyst supports, Catal. Rev. Sci. Eng. 47: 257-296.
[5] Bavya Devi, K., Singh, K. and Rajendran, N., 2011, Sol-gel synthesis and characterisation of nanoporous zirconium titanate coated on 316 L SS for biomedical applications, J. Sol-Gel Sci. Technol. 59: 513-520.
[6] Pamu, D., Sudheendran, K., Ghanashyam Krishna, M. and James Raju, K.C., 2010, Dielectric properties of ambient temperature grown nanocrystalline ZrTiO4 thin films using DC magnetron sputtering, Mater. Sci. Eng. B. 168: 208-213.
[7] Hsu, C.H. and Lin, S.Y., 2013, Characterization of ZrTiO4 thin films prepared by sol-gel method, Mater. Sci. Semicond. Proc. 16: 1262-1266.
[8] Paksunchai, C., Denchitcharoen, S., Chaiyakun, S. and Limsuwan, P., 2014, Growth an characterization of nano-structured TiCrN films prepared by DC magnetron cosputtering, J. Nanomaterials Volume 2014, Article ID 609482, 9 p.
[9] ชีวารัตน์ ม่วงพัฒน์, 2544, การสร้างและศึกษาลักษณะของอิเลคโทรดประเภทฟิล์มบางโปร่งแสง, วิทยานิพนธ์ปริญญาโท, มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าธนบุรี, กรุงเทพฯ.
